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正置金相显微镜 PA80MET / PA120MET

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产品简介
全新推出的PA80MET/PA120MET晶圆检查/FPD显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保卓越的光学性能,还具有安全稳定的镜架结构,使之低重心、高刚性、高稳定性,极大的提高了显微镜的抗振能力,使PA80MET/PA120MET显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样观察,是晶圆行业、FPD行业的理想检测工具。


正置金相显微镜的成像效果受多种因素影响

一是球面象差。

造成这种现象的原因是球面单片透镜的中心和边缘厚度不同,即使是单色光通过时也会产生不同的折射,通过后不焦于一点,轴上象点被一个弥散的光斑所取代,这就是球面象差。为改善球面象差,目前均采用复合透镜,即在主透镜前加入发散凹透镜。不过,这并不能完全消除,所以在使用显微镜时,可通过适当调整孔径光阑的大小来改善。


二是象域弯曲。

直立物体通过透镜获得弯曲的图像,称为象域弯曲。其原因是远轴细光束倾斜射入透镜。这种象差对金相显微照片特别不利,因此在金相照片时应选择平面消色差和平面消色差镜。因为对视场的边缘进行了色差校正。


三是多色象差。

多色差是指白光通过镜头后,由折射引起的光分解(色散)引起的一系列采色群象现象。它又分为垂直色差和水平色差。垂直色差是指从轴上某一点发出的非单色光的光束。由于组成中包含不同(λ)的光波,会发生色散,导致这些光线交给轴上不同的点,形成一系列群体的色差。水平色差。由于不同颜色的光折射率不同,焦距也不同,但由于放大倍数与焦距有关,目的物体不在轴上的点在离轴不同的距离处形成从而产生水平色差,也称放大色差。


技术规格


PA80MET

PA120MET

光学系统

无限远色差校正光学系统 (CCIS®)

总放大倍数

50X-500X(选购100X,最高放大倍率1000X)

目镜

UC-WF 10X/25,屈光度可调 +/-5(标配)(选购15X/20X目镜)

物镜

Plan S-APO平场半复消色差金相物镜BF/BD5X-50X100X选配)

LPlan S-APO长距平场半复消色差金相物镜(选配BF/BD 20X-100X)

观察筒

正像三目观察筒 (FN 25),倾斜角 20°,三筒光路2档选择:(目视:相机-100:00:100)

双目镜筒瞳距

50-75mm

样品最大厚度

29.5mm

物镜转换器

五孔转换器带DIC插槽(BFBF/BD可选) ,电动五孔转换器带DIC插槽(选配)(BFBF/BD可选)

粗微调焦装置

行程范围:29.5mm,粗、微调同轴调焦 ,粗调:17.7mm/转,微调:0.1mm/ 上限位,松紧调节环

机械移动载物台

8"载物台

12"载物台

尺寸325(W) X 325(D)mm

尺寸520(W) X 400(D)mm

行程200(X) X 200(Y)mm

行程300(X) X 300(Y)mm

照明

柯勒照明系统 12V/100W 长寿命卤素灯

扩展功能

偏光观察、DIC观察、电动平台、透反射机型

其它

可配Moticam数码成像系统和软件


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