产品简介
全新推出的PA80MET/PA120MET晶圆检查/FPD显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保卓越的光学性能,还具有安全稳定的镜架结构,使之低重心、高刚性、高稳定性,极大的提高了显微镜的抗振能力,使PA80MET/PA120MET显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样观察,是晶圆行业、FPD行业的理想检测工具。
正置金相显微镜的成像效果受多种因素影响
一是球面象差。
造成这种现象的原因是球面单片透镜的中心和边缘厚度不同,即使是单色光通过时也会产生不同的折射,通过后不焦于一点,轴上象点被一个弥散的光斑所取代,这就是球面象差。为改善球面象差,目前均采用复合透镜,即在主透镜前加入发散凹透镜。不过,这并不能完全消除,所以在使用显微镜时,可通过适当调整孔径光阑的大小来改善。
二是象域弯曲。
直立物体通过透镜获得弯曲的图像,称为象域弯曲。其原因是远轴细光束倾斜射入透镜。这种象差对金相显微照片特别不利,因此在金相照片时应选择平面消色差和平面消色差镜。因为对视场的边缘进行了色差校正。
三是多色象差。
多色差是指白光通过镜头后,由折射引起的光分解(色散)引起的一系列采色群象现象。它又分为垂直色差和水平色差。垂直色差是指从轴上某一点发出的非单色光的光束。由于组成中包含不同(λ)的光波,会发生色散,导致这些光线交给轴上不同的点,形成一系列群体的色差。水平色差。由于不同颜色的光折射率不同,焦距也不同,但由于放大倍数与焦距有关,目的物体不在轴上的点在离轴不同的距离处形成从而产生水平色差,也称放大色差。
技术规格
| PA80MET | PA120MET |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 (CCIS®) |
总放大倍数 | 50X-500X(选购100X,最高放大倍率1000X) |
目镜 | UC-WF 10X/25,屈光度可调 +/-5(标配)(选购15X/20X目镜) |
物镜 | Plan S-APO平场半复消色差金相物镜BF/BD5X-50X(100X选配), LPlan S-APO长距平场半复消色差金相物镜(选配BF/BD 20X-100X) |
观察筒 | 正像三目观察筒 (FN 25),倾斜角 20°,三筒光路2档选择:(目视:相机-100:0,0:100) |
双目镜筒瞳距 | 50-75mm |
样品最大厚度 | 29.5mm |
物镜转换器 | 五孔转换器带DIC插槽(BF、BF/BD可选) ,电动五孔转换器带DIC插槽(选配)(BF、BF/BD可选) |
粗微调焦装置 | 行程范围:29.5mm,粗、微调同轴调焦 ,粗调:17.7mm/转,微调:0.1mm/转 上限位,松紧调节环 |
机械移动载物台 | 8"载物台 | 12"载物台 |
尺寸325(W) X 325(D)mm | 尺寸520(W) X 400(D)mm |
行程200(X) X 200(Y)mm | 行程300(X) X 300(Y)mm |
照明 | 柯勒照明系统 12V/100W 长寿命卤素灯 |
扩展功能 | 偏光观察、DIC观察、电动平台、透反射机型 |
其它 | 可配Moticam数码成像系统和软件 |